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发明名称 APPARATUS FOR DETERMINING THE SURFACE TOPOGRAPHY OF AN ARTICLE
摘要
申请公布号 GB9022477(D0) 申请公布日期 1990.11.28
申请号 GB19900022477 申请日期 1990.10.17
申请人 PILKINGTON PLC 发明人
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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