| 发明名称 |
HIGH MELTING POINT METAL SILICIDE COVERING FOR PROTECTING MULTILAYER POLYCIDE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02288336(A) |
申请公布日期 |
1990.11.28 |
| 申请号 |
JP19890089281 |
申请日期 |
1989.04.07 |
| 申请人 |
S G S THOMSON MAIKUROEREKUTORONIKUSU INC |
发明人 |
FUU TAI RIYUU;ROBAATO OOCHISU MIRAA |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/263;H01L21/28;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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