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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHICHTVERBUNDEN AUS DUENNEN STRUKTURIERTEN SCHICHTEN MIT MINDESTENS EINER NACHTRAEGLICH AUFGEBRACHTEN DUENNEN METALLSCHICHT
摘要
申请公布号
DD284906(A5)
申请公布日期
1990.11.28
申请号
DD19890329487
申请日期
1989.06.12
申请人
AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD
发明人
MOENCH,JENS-INGOLF,DD;KRAUSE,DIETER,DD
分类号
C23F1/44;(IPC1-7):C23F1/44
主分类号
C23F1/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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