| 发明名称 |
METHOD OF GROWING CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02288328(A) |
申请公布日期 |
1990.11.28 |
| 申请号 |
JP19890110386 |
申请日期 |
1989.04.28 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YONEHARA TAKAO;KUMOMI HIDEYA;SATO NOBUHIKO |
| 分类号 |
C30B28/02;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
C30B28/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
