发明名称
摘要
申请公布号 JPH0244514(Y2) 申请公布日期 1990.11.27
申请号 JP19840010104U 申请日期 1984.01.30
申请人 发明人
分类号 G05F1/66;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812;H03C3/00;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 G05F1/66
代理机构 代理人
主权项
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