发明名称 MEASUREMENT OF ELECTRICAL CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02287165(A) 申请公布日期 1990.11.27
申请号 JP19890108244 申请日期 1989.04.27
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 YAGI TAKASHI
分类号 G01R31/26;G01R31/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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