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发明名称 APPARATUS FOR CARRYING WORKPIECE IN AND OUT VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH02285074(A) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 JP19900077154 申请日期 1990.03.28
申请人 LEYBOLD AG 发明人 SHIYUTEFUAN KENPUFU
分类号 B65G49/07;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/677 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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