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发明名称 FORMATION OF VARIABLE-WIDTH SIDEWALL STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP0313815(A3) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 EP19880115531 申请日期 1988.09.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BHATTACHARYYA, ARUP;KERBAUGH, MICHAEL, L.;ROBINSON, JEFFREY A.;QUINN, ROBERT M.
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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