发明名称 AN IMPROVED METHOD FOR FORMING EMITTERS IN A BICMOS PROCESS
摘要
申请公布号 EP0381071(A3) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 EP19900101582 申请日期 1990.01.26
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 EKLUND, ROBERT H.
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/32;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/167;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/82 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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