发明名称 METHOD OF FORMING A NONSILICON SEMICONDUCTOR ON INSULATOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0371862(A3) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 EP19890403265 申请日期 1989.11.27
申请人 UNIV NORTH CAROLINA;NORTH CAROLINA MICROELECTRON 发明人 WEI-KAN, CHU;REISMAN, ARNOLD
分类号 H01L21/3205;H01L21/04;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/768;H01L21/84;H01L23/14;H01L29/205;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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