发明名称 RASTREMAZIONE DI FORI ATTRAVERSO STRATI DIELETTRICI PER FORMARE CONTATTI IN DISPOSITIVI INTEGRATI.
摘要
申请公布号 IT1225631(B) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 IT19880083682 申请日期 1988.11.16
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 PIER LUIGI CROTTI;NADIA IAZZI
分类号 H01L21/3213;H01L21/311;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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