| 发明名称 |
FORMAZIONE DI CONTATTI SUB-MICROMETRICI MEDIANTE PILASTRI CONDUTTORI PREFORMATI SUL WAFER E PLANARIZZATI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1225618(B) |
申请公布日期 |
1990.11.22 |
| 申请号 |
IT19880083660 |
申请日期 |
1988.09.14 |
| 申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
FABIO GUALANDRIS;ANDREA MARMIROLI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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