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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02285644(A) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 JP19890108232 申请日期 1989.04.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIMURA TERUYUKI
分类号 H01L21/285;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/45;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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