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发明名称
PHOTO-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号
JPH02284924(A)
申请公布日期
1990.11.22
申请号
JP19890108065
申请日期
1989.04.27
申请人
TOSHIBA CHEM CORP
发明人
OKUNOYAMA TERU;IMAGAWA YASUKO
分类号
G03F7/037;C08G73/10;C08L79/08;H01L21/312
主分类号
G03F7/037
代理机构
代理人
主权项
地址
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