发明名称 FLACHE MAGNETRON-PENNING-ENTLADUNGSZERSTAEUBUNGSVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE3674939(D1) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 DE19863674939 申请日期 1986.04.03
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 HELMER, JOHN C., MENLO PARK CALIFORNIA, US
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01F41/18;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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