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发明名称 CONTINUOUS SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0136562(B1) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 EP19840110398 申请日期 1984.08.31
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TATEISHI, HIDEKI;SHIMIZU, TAMOTSU;AIUCHI, SUSUMU;IWASHITA, KATSUHIRO;NAKAMURA, HIROSHI
分类号 B65G49/07;C23C14/34;C23C14/56;H01L21/203 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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