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发明名称 MANUFACTURE OF OXIDE FILM IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02285636(A) 申请公布日期 1990.11.22
申请号 JP19890106986 申请日期 1989.04.26
申请人 KOJUNDO CHEM LAB CO LTD 发明人 HOCHIDO YUKO;FUTAKI TAKEHIKO;YOKOYAMA HIDECHIKA
分类号 B01J19/08;H01L21/316 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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