| 摘要 |
<p>Mit der Erfindung wird eine Meßeinrichtung mit einem Ständer (2) vorgeschlagen, an dem ein Meßtaster (10) höhenverschiebbar an einem elektromotorisch angetriebenen Schlitten (9) angeordnet ist. Der Ständer (2) ist in den X- und Y-Koordinaten frei bewegbar und um seine Längsachse drehbar. Die Bewegungen des Ständers (2) auf dem Meßtisch (1) werden durch eine Wegerfassungseinrichtung erfaßt. Als Wegerfassungseinrichtung dient im bevorzugten Fall ein Laser-Interferometer (16, 17, 20) mit einer automatischen Nachfürregelung (26). <IMAGE></p> |
