发明名称 感光性组成物
摘要
申请公布号 TW048147 申请公布日期 1982.12.16
申请号 TW07012297 申请日期 1981.08.03
申请人 日立制作所股份有限公司;丸 内1丁目5番1号 发明人 小桥隆裕;赤城元男 等6人;野野垣三郎;森下传
分类号 G03C1/52 主分类号 G03C1/52
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 1.一种感光性组成物,系以包含可藉曝光而产粘性之重氮盐与以一般式(式中R1 及R2 系表示直链烷基,X,Y及Z系分别表示氢,直链烷基或烷氧基,惟X、Y及Z不得同时二个以上为氢。)所表示化合物之盐,而上述以一般式所表示化合物之盐之量系对芳香族重氮盐而言为300-1重量%范围为特征者。2.以上述一般式所表示化合物之盐为选自2.6-二甲基-N,N-二甲基苯胺,3,5-二甲基-N,N-二甲基苯胺,2,4,6-三甲基-N,N-二甲基苯胺,2,6-二乙基-N,N-二甲基苯胺,3-甲氧基-2,6-二甲基-N,N-二甲基苯胺,3-乙氧基-2,6-二甲基-N,N-二甲基苯胺,4-甲氧基-2,6-二甲基-N,N-二甲基苯胺及4-乙氧基-2,6-二甲基-N,N-二甲基苯胺所成群之至少一种化合物之盐之如请求专利部份第1.项所记载之感光性组成物。3.以上述一般式所表示化合物之盐为盐酸盐。氯化锌复盐之如请求专利部份第2.项所记载之感光性组成物。4.对芳香族重氮盐而言再包含有有机高分子化合物0.5-500重量%范围为特征之如请求专利部份第1.项所记载之感光性组成物。5.有机高分子化合物为选自阿拉伯胶、聚乙烯醇,精氨酸之丙二醇酯,及甲代乙烯基醚。马来 共聚合物所成群之至少一种有机高分子化合物之如请求专利部份第4.项所记载之感光性组成物。
地址 日本国东京都千代田区