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发明名称 BONDER
摘要
申请公布号 JPH02284437(A) 申请公布日期 1990.11.21
申请号 JP19890104412 申请日期 1989.04.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 HATORI KAZUO;ARAKI ISAO
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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