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发明名称
CHEMICAL GASEOUS PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02283696(A)
申请公布日期
1990.11.21
申请号
JP19890106652
申请日期
1989.04.25
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAMAGUCHI TORU;YANO SHOJI
分类号
C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
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