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发明名称 ALIGNING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02283011(A) 申请公布日期 1990.11.20
申请号 JP19890105198 申请日期 1989.04.25
申请人 NIKON CORP 发明人 OTA KAZUYA;UMAGOME NOBUTAKA;MIZUTANI HIDEO;KOMATSU KOICHIRO
分类号 G01B11/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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