Enhanced removal of carbon from ceramic substrate laminates,申请号US19880220192-传众专利搜索

发明名称	Enhanced removal of carbon from ceramic substrate laminates
摘要
申请公布号	US4971738(A)	申请公布日期	1990.11.20
申请号	US19880220192	申请日期	1988.07.18
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	HERRON, LESTER W.;KNICKERBOCKER, SARAH H.;KUMAR, ANANDA HOSAKERE;NATARAJAN, GOVINDARAJAN;REDDY, SRINIVASA S. N.
分类号	C04B35/64;B32B18/00;C04B35/634;C04B35/638;H01L21/48;H05K3/46	主分类号	C04B35/64
代理机构		代理人
主权项
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