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发明名称 Fine surface profile measuring apparatus
摘要
申请公布号 US4971445(A) 申请公布日期 1990.11.20
申请号 US19880191606 申请日期 1988.05.09
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. 发明人 SATO, EIICHI;KOSHIISHI, KIYOZO;SHIGETOMI, SADAO;TANAKA, SYUNPEI;YOSHINAGA, MAKOTO;MORITA, TERUMASA;NAGANO, CHIKARA;KOBAYASHI, SHOHEI;SATO, CHIAKI;TODA, AKITOSHI;KUBO, MITUNORI;TOFUKUJI, IKUO
分类号 G01B9/04;G01B11/24 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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