发明名称 FORMING METHOD OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH02281736(A) 申请公布日期 1990.11.19
申请号 JP19890101589 申请日期 1989.04.24
申请人 SONY CORP 发明人 SHIMADA TAKASHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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