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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH02281657(A)
申请公布日期
1990.11.19
申请号
JP19890102406
申请日期
1989.04.21
申请人
NEC CORP
发明人
OZAWA YUKIO
分类号
G01R31/28;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/118
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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