发明名称 A SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND METHOD OF PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 HK91190(A) 申请公布日期 1990.11.16
申请号 HK19900000911 申请日期 1990.11.08
申请人 HITACHI LTD. 发明人 SHINICHIRO MITANI
分类号 H01L27/10;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/302;H01L29/06 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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