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发明名称 FLATTENING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02280326(A) 申请公布日期 1990.11.16
申请号 JP19890101951 申请日期 1989.04.21
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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