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发明名称 VAPOR EPITAXIALLY GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02278718(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890101179 申请日期 1989.04.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MARUYAMA KENJI;MURAKAMI SATOSHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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