| 摘要 |
Procédé de formation d'une pellicule d'oxyde, comprenant au moins une première étape consistant à déposer une pellicule d'oxyde sur la surface d'un substrat par la mise en contact d'un solution d'oxygène et/ou d'une solution de molécules contenant de l'oxygène avec la surface du substrat sur lequel on veut déposer la pellicule d'oxygène, et une deuxième étape consistant à renforcer la liaison de l'oxygène et des atomes constituant la surface du substrat dans la pellicule d'oxyde par traitement thermique de la pellicule d'oxyde à une température supérieure à 20°C dans de l'oxygène en phase gazeuse, les molécules contenant de l'oxygène, ou un gaz inerte seul, ou un mélange de deux ou de plusieurs de ces substances. |
