发明名称 WIRING STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS FORMATION
摘要
申请公布号 JPH02278827(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890102128 申请日期 1989.04.20
申请人 NEC CORP 发明人 MIKAGI IKU
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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