发明名称 CELL FOR MOLECULAR BEAM EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH02279587(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890102214 申请日期 1989.04.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO MICHIHIRO
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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