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发明名称 ETCHING LIQUID AND ETCHING OF GAAS SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02278825(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890098928 申请日期 1989.04.20
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 YAMASHITA HISAKATSU;KIMURA SUNAO
分类号 C09K13/04;H01L21/308 主分类号 C09K13/04
代理机构 代理人
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