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发明名称 PLASMA DOPING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02278720(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890098728 申请日期 1989.04.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OKADA HIROYUKI;FUJIWARA KAZUO
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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