发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02278836(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890100686 申请日期 1989.04.20
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OKA HIDEAKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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