发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02278865(A) 申请公布日期 1990.11.15
申请号 JP19890100606 申请日期 1989.04.20
申请人 NEC CORP 发明人 TAKEMURA HISASHI
分类号 H01L27/04;H01L21/268;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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