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发明名称 FORMATION OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH02277769(A) 申请公布日期 1990.11.14
申请号 JP19890100849 申请日期 1989.04.20
申请人 TONEN CORP 发明人 FUNAOKA HIDEHIKO;ASO JUNICHI;ARAI YOSHIHIRO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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