发明名称 FILTER OF LIQUID CHEMICAL
摘要
申请公布号 JPH02277527(A) 申请公布日期 1990.11.14
申请号 JP19890098024 申请日期 1989.04.17
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 KUMAGAI SEIICHI
分类号 B01D65/00;B01D35/00;B01D35/16;H01L21/304 主分类号 B01D65/00
代理机构 代理人
主权项
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