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发明名称 SUSCEPTOR FOR VAPOR-GROWTH DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0233584(B1) 申请公布日期 1990.11.14
申请号 EP19870101875 申请日期 1987.02.11
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO., LTD. 发明人 TOYA, EIICHI 218 TOSERA-B-APT. 390;OHKAWA, MASAYUKI 122 TOSERA-C-APT. 390-5;ITOH, KAZUO WAKATAKE-RYO, 44-1;SASAKI, YASUMI
分类号 H01L21/205;C30B25/12 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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