| 发明名称 |
FORMATION OF FINE CRYSTALLINE SILICON CARBIDE FILM AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02277775(A) |
申请公布日期 |
1990.11.14 |
| 申请号 |
JP19890097420 |
申请日期 |
1989.04.19 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
FUTAKI TOSHIROU;KAWAMURA KAZUHIKO |
| 分类号 |
C23C16/32;C23C16/50;C23C16/511 |
主分类号 |
C23C16/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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