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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING SOFT X-RAY FOR EXTRA-FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02276143(A) 申请公布日期 1990.11.13
申请号 JP19890338805 申请日期 1989.12.28
申请人 KANKOKU DENSHI TSUSHIN KENKYUSHO 发明人 CHIE YOON KIYU;YANGU JIYON UTSUGU;II JIN HII;II JIEE SHIN;SHIMU KIYU FUAN;KANGU JIN YONGU
分类号 H01J35/22;G03F7/20;H01L21/00;H05G2/00 主分类号 H01J35/22
代理机构 代理人
主权项
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