发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02277270(A) 申请公布日期 1990.11.13
申请号 JP19890097389 申请日期 1989.04.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 FUKUZAKI YOSHIKI;SATO KAZUO
分类号 H01L21/8247;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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