FORMATION OF THIN FILM,申请号JP19890098410-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH02277238(A)	申请公布日期	1990.11.13
申请号	JP19890098410	申请日期	1989.04.18
申请人	SONY CORP	发明人	SATO JUNICHI
分类号	H01L21/316;H01L21/31	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
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