发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02275368(A) 申请公布日期 1990.11.09
申请号 JP19890096993 申请日期 1989.04.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO AKIO;OKUBO KAZUO;OZAKI KAZUYUKI;HAMA SOICHI;ABE TAKAYUKI
分类号 G01R19/00;G01R31/302;H01L21/66 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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