| 发明名称 |
DISPOSITIF DE TEST POUR LA MISE EN OEUVRE D'UN PROCEDE DE REALISATION DE DISPOSITIFS SEMICONDUCTEURS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2616269(B1) |
申请公布日期 |
1990.11.09 |
| 申请号 |
FR19870007796 |
申请日期 |
1987.06.04 |
| 申请人 |
LABO ELECTRONIQUE PHYSIQUE APPLI |
发明人 |
JEAN-BERNARD THEETEN;PHILIPPE AUTIER;JEAN-MARC AUGER |
| 分类号 |
H01L21/302;G01B11/06;G01N21/55;H01J37/32;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/308;G01B11/14;G01B9/02;G03F7/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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