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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MEASURING EDGE TIP OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH02275344(A)
申请公布日期
1990.11.09
申请号
JP19890098006
申请日期
1989.04.17
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
TAJIMA TOSHIYUKI
分类号
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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