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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02275641(A)
申请公布日期
1990.11.09
申请号
JP19890097173
申请日期
1989.04.17
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
OKA HIDEAKI
分类号
H01L21/20;H01L21/263;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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