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摘要
申请公布号 JPH02275365(A) 申请公布日期 1990.11.09
申请号 JP19890097958 申请日期 1989.04.17
申请人 NEC CORP 发明人 SEHATA TAKASHI
分类号 G01R1/067;H01L21/66;H01L23/50 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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