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经营范围
发明名称
DISCHARGE TYPE EXCIMER LASER DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02273978(A)
申请公布日期
1990.11.08
申请号
JP19890095328
申请日期
1989.04.17
申请人
NIKON CORP
发明人
KAWAMURA SHINICHIRO
分类号
H01F29/14;H01S3/097
主分类号
H01F29/14
代理机构
代理人
主权项
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