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摘要
申请公布号
DE4009847(A1)
申请公布日期
1990.11.08
申请号
DE19904009847
申请日期
1990.03.27
申请人
THERMIONICS LABORATORY, INC., HAYWARD, CALIF., US
发明人
HANKS, CHARLES W., VENTURA, CALIF., US
分类号
H01J37/06;C23C14/30;H01J37/153;H01J37/305
主分类号
H01J37/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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